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  • 自動搬送機付きシート裁断機

  • ロールトリミングサーボプレス

プロキシミティ露光機

露光機

BEX-250S-W

プロキシミティ露光装置

高解像度

平行光プロキシミティ露光による高解像度露光を実現

高精度

高精度サーボモーターにより、マスククリアランスの任意設定が可能
CCDカメラによる画像処理で位置精度±5μmを実現

高速

高速位置決め機構によりサイクルタイム8秒
(製品供給時間、露光時間は除く)

好作業性

独自構造による容易なマスク交換