高解像度

平行光プロキシミティ露光による高解像度露光を実現

高精度

高精度サーボモータにより、マスククリアランスの任意設定が可能
CCDカメラによる画像処理で位置精度±5μm
を実現

高速

高速位置決め機構によりサイクルタイム5秒（露光時間は除く）を実現

好作業性

独自構造による容易なマスク交換